鑫台灣財經網／顏瑞田／新竹報導
人工智慧(Artificial Intelligence ; AI)加速進入產品製造產線，面對先進半導體、矽光子等高精度製程，對缺陷檢測與量測準確度的要求提升，傳統自動光學檢測（Automatic Optical Inspection；AOI），正結合AI判讀、創新光學設計及邊緣高速運算，擴大智慧檢測的應用範圍。工研院與自動光學檢測設備聯盟（Automatic Optical Inspection Equipment Association；AOIEA），1日於新竹陽明交通大學，舉辦「第26屆全國AOI論壇與展覽」，聚焦結合AI與AOI技術發展趨勢，並邀集產學研及十家業者展示先進半導體、矽光子、材料分析及智慧視覺等技術及產品。
工研院量測技術發展中心執行長暨AOIEA聯盟會長藍玉屏1日表示，AOI是製造產線掌握產品品質、與製程良率的重要環節，隨著AI快速導入產線，檢測技術也從過去依賴規則與影像比對，進一步朝AI智慧判讀、高精度量測及AI原生應用發展。
尤其先進半導體、矽光子等新製程持續朝更小尺寸、更高密度發展，新一代AOI技術朝向更智慧化、高精度及跨域整合方向發展，藍玉屏表示，工研院期盼透過本次全國AOI論壇與展覽，串聯國內產學研各界之研發能量與產業需求，加速智慧檢測技術落地，為臺灣智慧製造與先進製程注入新的技術動能。
工研院說，本次論壇上午安排三場主題演講，分別由威力工業董事長施作君分享「賦能蘭花產業的光學神經網路邊緣AI與AOI視覺技術的五大核心應用」；欣興電子數位長龔吉富以「AI Native for AOI Leaders」為題，探討AI與AOI的整合發展；汎銓科技行銷業務處處長張仕欣則以「穿透缺陷本質：從微米到原子的材料鑑識技術」，分享先進材料分析與缺陷檢測技術發展。
下午則安排四場專題演講，包含工研院、臺灣科技大學、陽明交通大學、中央大學，分享矽光子、光學檢測可靠度分析、大面積高解析度技術及市場發展，以及自動化檢測技術等議題。
論壇現場同步舉辦「AOI專業展」及AOI技術論文發表會，工研院量測中心展示半導體先進檢測技術「FOUP式EUV劑量量測儀」，可在不中斷產線的情況下，即時量測極紫外光微影（Extreme Ultraviolet Lithography；EUV）曝光劑量，檢測效率提升8倍以上。
此外，參與論壇的參展業者展示定量相位顯微模組、第三代半導體高速閃頻調光器、EtherCAT PCI Express運動控制卡、AI視覺引導機器人及次世代AI影像量測等技術，涵蓋光學元件、影像量測、運動控制、智慧視覺及半導體製程檢測等應用，呈現AOI技術跨域整合與智慧化發展趨勢。
